| 一个成像探测器用于一个扫描带电粒子显微镜 |
| WOAU10000737 2010-6-15 发明申请 |
| 2010-12-29 |
| 本发明提供了一个组件用于一种成像扫描带电粒子的显微镜检测器。该扫描改变颗粒的显微镜具有一列用于提供一个扫描光束所述带电粒子。所述成像检测器被设置用于检测离轴外侧的位置处的电子所述柱和包括一个电子接收元件，其被设置到响应中产生一个信号到接收到的电子的强度。所述检测器组件还包括一滤波器，其具有一个固体筛选元件和被设置，使得在所述的电子的至少一部分具有一个第一的能量范围内的初始动能被捕获的由从被接收的所述筛选元件和防止由所述电子接收元件和至少一个部分的所述其具有一第二内的初始动能的电子的能量范围是由所述电子接收元件接收。第一能量范围包括比第二更高的能量的能量范围。 |
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