| 扫描探针显微镜和探针邻近检测方法及其 |
| WOJP10060494 2010-6-21 发明申请 |
| 2010-12-29 |
| 一个扫描探针显微镜是具有第一和第二探针用于扫描一个样品上,同时保持所述距离该样品从所述的表面恒定,用于保持石英振子第一和第二探针分别,和一个调制振荡器,用于施加振动的一个特定频率的不同从所述各自的石英振子的所述谐振频率到所述第一探针(5)。一控制装置监视所述的振动所述特定频率的第一和第二的探针,检测从所述所述的振动所述特定频率的变化是第一探针和第二探头进入接近到每个其他,和控制驱动第一和第二的探针。 |