| 厚度变化的测量装置，使用相同的系统，使用相同的表面显微镜，厚度变化的测量方法，和表面图像获取方法。使用同一 |
| WOKR10004044 2010-6-22 发明申请 |
| 2010-12-29 |
| 本发明提供了一种厚度变化的测量装置，其可以在一精确和准确测量微小厚度变化通过一个便宜和简单的方式配置，以及作为使用相同的系统，使用相同的一表面的显微镜，一个厚度变化的测量方法，和一表面使用相同的图像获取方法。用于这个目的，所述厚度变化的测量装置包括 : 一光源，它照射一个光束到一个待测物体; 一曲面反射镜反射该光通过该待测物体反射的光束; 以及一感测单元，其感测所述光反射的光束通过所述曲面反射镜。 |
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