| 紫外的近场光学显微镜 |
| JP2009141244 2009-6-12 发明申请 |
| 2010-12-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一散射近场光学显微镜能够增强所述的近场中的紫外\/深紫外区。溶液 : 在所述散射近场光学显微镜，一种激发的激光束是一种紫外\/深紫外激光束和一金属是采用作为一种材料用于一探针端，所述金属具有-2或在该波长下的介电常数所述激发的激光。作为金属等此，可以适当地使用铝或铑。优选地，一探针是通过形成一个铝制造的一种制成的探针的所述的表面上的薄膜硅通过真空蒸发。优选地，所述所述薄膜的膜厚度是大约25nm和待沉积铝具有一在直径10至20纳米的颗粒状结构。版权 : (C)2011，inpit |
微信公众号