| 高通量扫描电镜工具 |
| US12528307 2008-2-22 发明申请 |
| 2010-12-23 |
| 描述了一种多束扫描电子束装置(100)。 所述多BEA扫描电子束装置具有一列， 包括用于发射多个电子束(12，13，14)的多束发射器(110)， 至少一个公共电子束光学元件(130)，其具有用于所述多个电子束中的至少两个电子束的公共开口，并且适于共同影响所述多个电子束中的至少两个电子束， 至少一个单独的电子束光学元件(140)，用于单独地影响所述多个电子束；公共物镜组件(150)，用于聚焦所述多个电子束，所述公共物镜组件(150)具有用于聚焦所述多个电子束中的至少两个电子束的公共激励，并且适于将所述多个电子束聚焦到样本(20)上，用于产生多个信号束(121、131、141)；以及检测组件(170)，用于在相应的检测元件上单独地检测每个信号束。 |
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