| 方法和装置，用于调整的自动最佳传输电子的聚焦显微镜 |
| JP2009099505 2009-4-16 发明申请 |
| 2010-11-4 |
| 要解决的问题 : 以可靠地检测最佳聚焦位置作为以一种方法和一种装置用于调整一个自动的最佳一个传输电子的聚焦显微镜。溶液 : 在该传输电子显微镜具有一物镜透镜8，一种图像形成系统透镜组10，以扩大和发送图像的电子束图像具有一个荧光屏幕12上发送所述物镜，所述荧光屏幕12，以接收所发射的电子束投射的图像从所述图像形成系统透镜组10，一种照相机14以图像所发送的所述荧光屏幕上电子束的图像，一存储装置16a，以存储所发送的电子由该摄像机拍摄的图像，和一种图像处理装置16以执行规定的图像处理通过读取该发送电子束所述存储装置中存储的图像，所述图像处理装置16计算一个边缘评价值通过读取所发送的电子图像存储在所述存储装置16a，发现通过进行从曲线拟合的拟合函数所述计算边缘评价值，该拟合函数和确定所述的最小值作为该最佳聚焦位置。版权 : (C)2011，inpit |
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