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光学探测在电子显微镜

WOSE10050405 2010-4-15 发明申请

2010-10-21

本发明涉及一种光学装置和在特别涉及一种光学装置，用于使用在电子显微术应用。这是用于样品的表征与该样品的同时测量与该电子显微术和测量与一个光学设置和\/或使用一种机械手用于光源或一个扫描探针的探测装置。