| 浸没显微镜物镜 |
| JP2009094059 2009-4-8 发明申请 |
| 2010-7-22 |
| 要解决的问题 : 以提供一种浸没式显微镜物镜,其具有长操作距离和具有充分地校正像差在一个宽波长区域(大致H-线与T-线)。溶液 : 该浸没式显微镜物镜透镜包括 : 顺序从一个物体中,一个第一透镜组G1具有正折射功率作为一个整体,并具有一个平凸的透镜胶合透镜L1具有一平面面对所述对象和一个具有一个凹弯月形透镜表面面对所述对象,和一个单个的弯月透镜L2具有一凸表面面对所述对象; 一第二具有正折射光焦度作为一个整体透镜组G2和具有胶合透镜的多个L3-l6; 和一个第三透镜组G3),其具有胶合负折射光焦度作为一个整体,并具有一弯月透镜l7具有一凹表面面对的一个图像,和一个胶合的弯月透镜L8具有一凹表面面对所述对象。和所述以下条件表达式0.12 |