方法和用于三维干涉显微镜观察系统
 
JP2009543248  2007-12-21  发明申请

2010-5-6
 
  在一个实施例中,一种装置包括有多个探测器光学系统和处理器。光学系统被配置为产生图像的光学源第一尺寸和第二中的尺寸大致正交的第一尺寸在每个检测器在给定的时间。每个图像从图像中基于干扰从光源发射的在第一从光源方向和发射在第二方向不同的第一方向。处理器被配置为计算位置在基于第三维图像。第三尺寸基本上正交的第一尺寸和第二的尺寸。
 
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