| 扫描电子显微镜和样品观测方法。 |
| JP2008120370 2008-5-2 发明申请 |
| 2009-11-19 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜和一个样品的观察方法可观察的样品与一导电层的制造精度的恒电位所述样品的表面上。溶液 : 该扫描电子显微镜被提供有一电子枪发射的电子束9，一个保护电极11设置该样品7和一物镜透镜4之间具有一给定范围的一个开口与一光轴线所述电子束9作为中心的用于覆盖所述样品的整个表面7a的7; 一个保护电极的功率源12供给电压到所述保护电极11，一种表面静电计13测量一电位所述的表面7a的所述样品7，和一个控制部分20的调整电位的所述表面7a该样品7通过压印，以保护电极11，一种用于保持一个所述表面电位的差电压该样品的7和7a一给定范围内的一预定的参考电位当该差值的所述电位超过所给定的范围。所述保护电极11的开口确保足够面积用于所述电子束9和二次电子产生从所述通过所述电子束的照射9样品7，以通通过。版权 : (C)2010，inpit |
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