| 扫描电子显微镜 |
| JP2008123530 2008-5-9 发明申请 |
| 2009-11-19 |
| 要解决的问题 : 以形成一高分辨率的二次通过扫描电子图像，同时照射电子射线束从电子枪发出的通过变窄到一样品它通过一透镜，通过检测和放大的二次电子从所述样品发出的关于一种扫描电子显微镜在其时间以显示一个二次电子图像，通过有效地捕获，检测，和放大二次电子从所述样品到其负偏置电压被施加而不机械地移一个光学轴，和通过使物镜的像差较小。溶液 : 该扫描电子显微镜是装备有静电第第一偏转器，一个静电第第二偏转器，一电磁第第三偏转器; 和一个二次电子探测器，其检测所述二次电子，其被引导在一个方向的所述的电磁第三偏转器和具有一个对应的能量到所述负偏置电压中的偏转从所述的光学轴方向分离通过该电磁第三所述薄的变窄时，偏转器的电子射线束是照射一样品表面上施加与所述负偏置电压，和所述电子射线，其包括一个通过其开口部上的光束通过一部分所述的光学轴的。版权 : (C)2010，inpit |
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