| 一种利用云纹对扫描电镜的扫描线间距进行标定的方法 |
| CN201010236191.3 2010-7-26 发明申请 |
| 2010-12-22 |
| 一种利用云纹对扫描电镜的扫描线间距进行标定的方法，属于光测力学技术领域。本发明以扫描电镜的扫描线为参考栅，以已知栅距的标准光栅为试件栅，通过使两栅发生干涉形成清晰的平行云纹，测量出云纹的像素间距，将其代入推导出的反演公式求解出每个像素所对应的实际物理尺寸即扫描线间距。此方法集成了云纹法测量灵敏度高、视场大等优点，可实现实时原位标定，精度高，操作简单，并且考虑了扫描线数和工作距离等因素的影响，为扫描电镜和扫描电镜云纹法用于微纳米变形测量提供了良好的基础。 |
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