| 用于表面光度仪台阶高度校准标准的用于制造方法和扫描探针显微镜 |
| RU2009133528 2009-9-7 发明授权 |
| 2010-12-20 |
| 领域 : 电。物质 : 在用于表面光度仪的阶梯高度校准标准的制造方法和扫描探针显微镜，硅基板与相邻表面被放置成真空，和热电退火是进行，衬底的表面上形成单质步骤，分离与宽与初始台阶表面重建，然后衬底被冷却，通过提供相邻的地坪上形成subatomic步骤基板表面与上部结构重建和区域的区域，其具有不被暴露到上层建筑重建，但具有不残留在该条件的初始表面重建，基板的表面上均匀分布，和水平的真空被保持作为提供用于输出的基板材料的原子到热电期间真空退火，效果 : 本发明提供了用于测量的重现性，增加释放特征的高空检测精度，降低测量的误差，降低高度的校准参考sample.14Cl，8划出 |
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