显微镜自动聚焦装置及其方法
 
US11863783  2007-9-28  发明授权

2010-12-14
 
  提供了一种自动聚焦装置和方法。 该装置包括分束器组; 激光发射装置,设置在所述分束器组的第一侧,用于向所述分束器提供激光束; 透镜组,所述透镜组设置在所述分束器组的第二侧并与所述测试对象相对,所述测试对象位于所述分束器组的第三侧,用于折射来自测试对象的反射光束以产生光斑; 以及相对于透镜组设置的光检测装置,用于接收光点并产生驱动信号。
 
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