| 用于制造方法的探针，探针，和扫描探针显微镜 |
| JP2010193527 2010-8-31 发明申请 |
| 2010-12-9 |
| 要解决的问题 : 以制备一探针，其包括一电极间隔比以前更短的和能够准确测量。溶液 : Pt薄膜403是所述的主平面上形成一个悬臂402，一个FIB(聚焦的离子光束)405是辐射从所述主表面侧，凹槽60a1a和60a1b被形成，和所述Pt薄膜403是分割。然后，该fib405是辐射从所述悬臂的所述后表面402，和一间隙801被形成。该间隙801被照射的所述尖端侧与所述fib405和薄型化，然后该fib405是辐射从所述后表面再次，和一间隙1101被形成在一变薄区901。版权 : (C)2011，inpit |
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