| 显微镜系统 |
| JP2009128894 2009-5-28 发明申请 |
| 2010-12-9 |
| 要解决的问题 : 以有效地执行所述的生产和观察一种MEMS(微机电系统)的装置。溶液 : 在一显微镜系统，观测透镜筒19，用于观察的对象被暴露12; 一个曝光照明单元32用于产生曝光光用于暴露该对象被暴露12，一种显微镜体16，以其一个级13和一旋转器15被附着，一个外部照明单元17用于产生照明光用于照明所述对象到被暴露12，和AF(自动聚焦)单元18用于聚焦物镜14所述对象上，以被暴露12包括一个公共连接部分。所述的显微镜系统可以被施加到，例如，一种用于生产和观察的显微镜系统所MEMS装置。版权 : (C)2011，inpit |
微信公众号