| 显微镜系统 |
| JP2009128895 2009-5-28 发明申请 |
| 2010-12-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一显微镜系统，其能够高度准确的曝光。溶液 : 在一显微镜系统，一个曝光照明单元32中具有多个第二的物镜，其中所述校正和调整倍率的是与执行相对于每个的多个物镜的透镜安装在一旋转器。然后，在所述曝光的照明单元32，第二物镜透镜55-1和55-2响应中的滑动到所述一个物镜的切换设置在一个光学轴线L1，和曝光光调制由一个DMD(数字微镜装置)54是由要入射到该物镜通过所述的位置，其中所述的校正和调整具有相对于所述物镜进行放大透镜14设置在所述光学轴线(L1)。所述的显微镜系统可以被施加到，例如，一种用于生产和观察的显微镜系统的一个MEMS(微电动机械系统)装置。版权 : (C)2011，inpit |
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