| 具有改进光学存取的扫描探针显微镜 |
| US12471762 2009-5-26 发明申请 |
| 2010-12-2 |
| 本发明公开了一种扫描探针显微镜及其使用方法。 扫描探针显微镜包括用于连接悬臂的探针安装件和探针信号发生器。 探针位置信号发生器产生指示探针相对于悬臂一端的位置的位置信号。 所述探针位置信号发生器包括第一光源和检测器，所述第一光源将光束引导到位于所述悬臂上的第一反射器，所述检测器检测光束从所述第一反射器反射之后的光束的位置。 第二反射器在光束从第一反射器反射之后并且在光束进入检测器之前反射光束，第二反射器使来自第二光源的光通过，第二光源照亮样品。 |
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