| 扫描电子显微镜装置，评价点产生方法，和程序 |
| WOJP10058823 2010-5-25 发明申请 |
| 2010-12-2 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜装置使所述视图的FOV(场)被有效地设置。使用装置的形状信息(包括电路的设计数据和布局设计数据)，其CAD数据包括，多个fovs被设置有一小的叠加的量，从而所有所述元件，其中所述的电特性是以被测量的被包含。在该装置的所述互连区域，所述fovs被设置在每个基本配置的多个的附图构成该互连区。在该小区区域的所述装置，所述fovs被设置使用该电池轮廓框架和所述电池顶点作为参考。 |
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