| 具有集成的电子显微镜检测器(S) |
| WOUS10001438 2010-5-14 发明申请 |
| 2010-11-18 |
| 一个电子显微镜包括一个真空室，用于容纳一待分析样品，一种光学柱，包括一个电子源和一个最终的探针形成透镜，用于聚焦从所述电子发射的电子源，一个样品台放置在所述真空室下，该探针形成透镜，用于保持所述样品，和一种X-射线检测器，其定位在所述真空腔室。所述X-射线检测器包括一个X-射线敏感的固态传感器和一机械支撑系统用于支撑和定位所述检测器，包括所述的传感器，所述真空室中。所述所述的机械支撑系统的全部内容被包含在所述真空室。多个不同类型的检测器可以被支撑在所述的机械支撑系统上的所述真空室。该机械支持系统可以还包括至少一个热电冷却器元件用于热-电冷却所述X-射线传感器。 |
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