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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

晶片传送晶片的检查系统，用于扫描电子显微镜

KR1020090093356 2009-9-30 发明授权

2010-11-11

目的 : 一晶片的晶片传送用于扫描电子显微镜检查系统被提供以防止晶片从浮动和被分离从一晶片保持器通过一快门板在所述晶片保持器，构成 : 一晶片是提供在一个台架(10)。一种晶片保持器(20)接收一晶片并引导到主检查室。一快门板单元被设置在所述晶片保持器，和包括一快门板(31)。一种晶片传送臂(40)将所述晶片到所述台架和所述两侧的该晶片保持器。