| 紧凑型扫描电子显微镜 |
| US12303715 2007-4-26 发明申请 |
| 2010-11-4 |
| 一种与包括真空室(11)的设备一起使用的滑块轴承。 所述滑块轴承包括 : 在一侧与真空室(11)接触的基板(20)， 所述基板具有与真空室(11)接触的第一通孔(21)， 第二板(30)， 所述第二板的一侧与所述基板(20)接触， 所述第二板具有第二通孔(31)， 基板和第二板彼此面对的表面足够光滑以形成非弹性体真空密封， 所述基板(20)和所述第二板(30)可在其中第一通孔(21)和第二通孔(31)不重叠的第一相对位置和其中第一通孔和第二通孔重叠的第二相对位置之间滑动， 其特征在于第二板(30)是柔性板， 所述柔性板的与所述基板相对的面被设置成密封在杯(50)上， 一种杯，用于容纳样品(1)，基板中的第一通孔(21)示出了以受控曲率面对柔性板(30)的边缘，所述边缘的曲率被形成为使得基板和柔性板之间的真空密封在预定轮廓上形成，并且赫兹接触压力小于预定最大接触压力，所述预定最大接触压力被选择为使颗粒产生最小。 通过将第二板形成为柔性板，基板和第二板被压在一起的压力比当两个板都是刚性时更好地可再现。 通过形成具有受控半径的边缘，使颗粒产生最小化。 |
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