| 基于碳纳米管和平面波导结构的原子力显微镜探针 |
| CN201010214229.7 2010-6-30 发明申请 |
| 2010-11-3 |
| 本发明提供了一种基于碳纳米管和平面波导结构的原子力显微镜探针，属于微纳米技术领域。该原子力显微镜探针包括与原子力显微镜兼容的探针基底平台，附着于探针基底平台表面上的平面波导，以及作为探针针尖的碳纳米管。使用时将平面波导结构连接至高频(微波)测量仪器，并将整个探针安装至AFM，通过AFM的标准操作进行探针扫描或者定位，可以精确地测量样品的表面形貌，并同时原位测量样品的高频特性。特别是利用平面波导，可以进行信号损失很小的高频(微波)传输，而且作为针尖的碳纳米管具有优良的高频传输性能和力学特性，并可以通过生长条件的控制来调节其直径大小等特性，适于高精度的高频(微波)测量。 |
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