| 模块化原子力显微镜 |
| US12587943 2009-10-14 发明申请 |
| 2010-10-28 |
| 一种模块化AFM/SPM，该模块化AFM/SPM部分地通过使用较小的探针来提供较小的力和运动的较快测量，而没有噪声伪像，这是这些器件的老一代越来越不能提供的。 所述模块化AFM/SPM包括底盘，所述底盘上支撑所述仪器的模块； 提供用于观察样品和探针的光学器件的观察模块； 头模块，其提供用于所述光杆装置的所述部件并用于操纵和聚焦所述部件； 扫描器模块，其提供XYZ平移台，该XYZ平移台在那些尺寸上致动样品和接合机构； 封闭底盘并为仪器提供声学和/或热隔离的隔离模块，以及与单独的控制器一起提供用于采集和处理图像并控制仪器的其它功能的电子装置的电子装置模块。 所有这些模块和它们的许多子组件都是可替换的并且可能是可升级的。 这允许在新技术变得可用时更新新技术。 |
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