| 低相干性干涉仪和光学显微镜 |
| JP2009088480 2009-3-31 发明申请 |
| 2010-10-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一低相干性干涉仪允许高度精确的测量，而不管的测量范围与抑制一个干扰的影响(E。G。，温度变化，测量精度振动)上。溶液 : 所述低相干性干涉仪1，用于测量一个三-一个被测物体的三维形状或一个膜厚度2包括 : 一光源11发射白光; 一物镜透镜14聚焦所述白光到所述测量对象和一个光学中是可移动轴方向，一个光学多路复用器解复用器16，其将所述白光进入所述测量对象物体光3照射2和参考光4照射一个参考反射镜17和将所述物体反射的光3通过所述测量对象和所述参考光4通过所述参考镜17反射到输出白干扰光，一白光检测器20检测所述白干扰光输出从所述光学多路复用器demultiplexerr16，和一个移动量测量仪器30中的一个所述物镜的移动量测量所述的光学轴方向，其中所述移动量测量仪器具有一个激光光源31发射激光的光和一反射膜32形成在所述的光学轴和反射该激光的光。版权 : (C)2011，inpit |
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