| 扫描探针显微镜与控制测量介质 |
| RU2008103457 2008-2-4 发明授权 |
| 2010-10-20 |
| 字段 : 物理学。物质 : 扫描探针显微镜与控制测量介质包括一种模块化的泵浦单元，连接有一平台，一密封盖与至少光学透明窗上具有真空气密安装到所述平台的可能性和密封所述测量模块; 以及作为观看单元安装在该平台与运动的可能性和光学接口与所述探针至少通过一个光学透明窗。该平台具有一封闭的真空气密空腔在其存在是可动元件与一样品架。所述探头支座被装配与一个压电模块和所述平台上有一取向装置，其接口与所述密封盖。效果 : 该装置的较宽的功能。9Cl，1显示 |
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