| 电平差测量方法，电平差测量装置，和扫描电子显微镜装置 |
| JP2009078530 2009-3-27 发明申请 |
| 2010-10-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一个电平差测量方法和一种电平的差值测量装置，其可以测量一个差值的级别，例如一种刻蚀深度中的一种精细结构的图案。溶液 : 一信号简档产生单元35产生简档中的多个信号波形的不同焦点位置从一扫描获得的图像由一个精细图案与一电子束照射。一个数据处理单元36所述信号的波形区分所产生的简档，以产生一个差分轮廓。一数据分析单元38提取差分峰值值对应至一上层部分和一较低层所述图案的一部分从所产生的差分简档，并将它们存储在一起与聚焦位置。进一步，一个数据分析单元38产生一个所述差分峰值之间的关系的图表值和聚焦位置，以及计算的差在所述精细图案的电平从该关系的图表。版权 : (C)2011，inpit |
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