| 超软原子力显微镜装置和方法 |
| US12709118 2010-2-19 发明申请 |
| 2010-10-7 |
| 本发明的优选实施例提供了一种超软原子力显微镜装置，其具有终止于较小直径的纳米纤维尖端的纳米针悬臂。 用激光多普勒测振仪直接测量纳米针悬臂梁的挠度。 本发明同时提供一种具有非常小直径的纳米纤维尖端的非常低质量的纳米针悬臂，同时能够成像振动和位移。 本发明的AFM装置同时提供了一种超低质量和软悬臂梁，能够用激光多普勒测振仪精确和直接地测量极小直径纳米针悬臂梁的振动和偏转，以及提供亚纳米分辨率的尖锐纳米纤维尖端。 |
微信公众号