| 扫描探针显微镜的质量-弹簧耦合系统和成像方法 |
| US12223891 2007-2-13 发明申请 |
| 2010-10-7 |
| 提出了一种新的扫描探针显微镜的结构和工作原理，通过将驱动、压痕和传感功能分离为单独的动态元件，动态测量样品的材料性能，主要是表面硬度。 对于不同的样品材料，在样品的周期性压痕处出现的较高模的振幅和相移是特征值。 连接到压痕探针尖端的单独的传感器悬臂具有所需的更高模式的高机械放大同时抑制致动信号本身的优点。 传感器的操作范围可以仅仅通过将致动信号切换到传感器悬臂的谐振频率的另一个次倍数和/或通过对每个压痕尖端使用多于一个的传感器悬臂来扩展。 |
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