| 方法的方法，用于在扫描探针显微镜探针和样品 |
| JP2009267578 2009-11-25 发明申请 |
| 2010-9-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于接近一个探针和样品的方法，确实地接近它们没有损伤，以及作为缩短一种用于接近所需的时间。溶液 : 在一个悬臂2由一位移的检测一位移检测机构5和允许一探针1和一样品8，以通过一粗糙的移动机构13的方法或\/和垂直方向精细的运动机构11; 一个激励机构4激励该悬臂2与第一激励条件和所述探头1，该样品8被允许接近与一第一停止条件，然后该悬臂2与一第二被激励的激励条件从第一不同的激发条件，一个第二停止条件被设置，和所述探头1和样品8被允许接近，直到第二通过所述垂直方向精细的运动机构11停止条件或\/和所述粗移动机构13。版权 : (C)2010，inpit |
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