| 扫描显微镜 |
| JP2009054414 2009-3-9 发明申请 |
| 2010-9-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描显微镜，其抑制由振动引起的噪声的一种扫描装置。溶液 : 该扫描显微镜1包括 : 一扫描装置8用于扫描光从光源2，一个物镜透镜13用于聚光的光通过所述扫描装置8到试样5，和一个检测器6用于检测所述的光从该标本5通过所述物镜透镜13。所述扫描装置8被连接到一个壳体3a通过一振动阻尼部件20由一材料的振动的阻尼系数是大于1，和具有润滑膜或润滑金属层形成其表面上。版权 : (C)2010，inpit |
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