| 扫描显微镜 |
| JP2009054416 2009-3-9 发明申请 |
| 2010-9-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描显微镜，其抑制由振动引起的噪声的一种扫描装置。溶液 : 该扫描显微镜1包括 : 一扫描装置8用于扫描光从光源2，一个物镜透镜13用于聚光的光通过所述扫描装置8到试样5，和一个检测器6用于检测所述的光从该标本5通过所述物镜透镜13。所述扫描装置8被连接到一个壳体3a通过一由一振动的振动阻尼部件振动的阻尼材料的阻尼系数是大于1，或通过所述振动阻尼部件由所述振动阻尼材料和具有润滑的金属层或一其上形成润滑涂层表面和一个振动阻尼件具有粘弹性。版权 : (C)2010，inpit |
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