| 自动样品的倾斜装置用于电子显微镜 |
| JP2009056438 2009-3-10 发明申请 |
| 2010-9-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一种自动样品的倾斜装置，用于电子显微镜可自动调整的一个样品的倾斜角度。溶液 : 所述传输电子显微镜具有至少 : 一样品的运动控制装置，用于控制移动机构7和一个样品的倾斜机构8; 一成像的电子用于发送的成像光学系统6发送的电子从样品3通过使用一种多级电子透镜和一偏转器; 一个图像采集装置9用于成像的图像的图像-信令; 一存储器装置11用于存储一图像信号; 和一个计算机10用于分析该图像信号通过读出存储在所述存储器装置11所述图像信号。所述计算机(10)存储所获取的存储装置11通过获取一个电子衍射图在一电流晶体该样品的取向与多个不同样品的倾斜角度，和计算一个电子衍射点的座标，用于每个获取的电子衍射图，和计算一个近似圆的中心和半径通过使圆近似一个电子衍射斑点的所述的电子衍射点坐标的基础上。然后，该样品的倾斜角度用于最小化该圆的半径是建立到被所述最合适的倾斜角度。版权 : (C)2010，inpit |
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