| 一个扫描探针显微镜在不干扰或用于单个或多个探针的几何约束操作在空气或液体 |
| WOUS10025388 2010-2-25 发明申请 |
| 2010-9-10 |
| 一种方法和装置允许扫描探针显微镜与一非光学反馈机构(1.2)，例如一调谐叉; 以被用于在空气或液体中。本发明要求的几何结构的该实施例所述扫描装置，其可并入所述非光学反馈机构在一种方式，其基本上不阻碍几何上的任何透镜(1.3)从上方或下方，并允许自由访问以所述探针是与所述样品的交互。一个这样的实施例中，一扫描器(1.1)在X，Y和Z可移动的所述探针与一结构在其中的任一个所述非光学反馈机构是在所述液体或空气中和可以使用任一种悬臂或直探针。该系统可还被构造成具有多个独立的扫描探针显微镜探针，其可以工作在液体和\/或在空气。 |
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