| 扫描电子显微镜 |
| JP2009045037 2009-2-27 发明申请 |
| 2010-9-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描型电子显微镜能够容易地进行对准和适合的用于便于观察的视场找到通过防止损失的领域。溶液 : 所述扫描型电子显微镜包括一个成像装置,用于获得一个样本级图像,和一个存储装置用于存储信息的对应关系上的一位置,一移动距离和\/或一个样品台的运动方向; 和一位置,运动距离和\/或一种显示装置上的所述样品级的运动方向与所述的使用所述样品级图像。与所述使用所述的信息的所述对应关系,通过该扫描电子显微镜所获得的样品图像和所述样品级上的位置信息获取该样品图像被显示在所述显示装置。版权 : (C)2010,inpit |