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产业专利数据

用于带电粒子和辐射探测器层状扫描带电粒子显微镜组件

US12718940 2010-3-5 发明申请

2010-9-9

一种扫描带电粒子显微镜，包括 : 分层带电粒子束柱封装；样品架；以及层状微通道板检测器封装，其位于柱封装和样品保持器之间。