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电子显微镜
EP10250366 2010-3-2 发明申请
2010-9-8
一个电子显微镜(1)是提供便于像差校正,即使在高倍率成像。该显微镜(1)具有一个球面像差校正器(14),转印透镜(15)所述校正器(14)之间的安装系统和一个物镜(17),孔径光阑(13)安装在一前级的所述校正器(14),以可移动相对于所述的光学轴(2),和一个角孔径光阑(16)安装在或靠近该主所述转印透镜系统的平面(15)可移动地相对于所述的光学轴(2),以调整所述的角孔径所述电子束(3)。
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