| 扫描探针显微镜和相同的操作所述的方法 |
| JP2009032404 2009-2-16 发明申请 |
| 2010-9-2 |
| 要解决的问题 : 以评估所述所述光接收表面上反射的光点尺寸的一个光检测器在所述相同的时间与所述调整所述位置和所述聚焦光点的聚焦条件的光的照射所述的后一个悬臂在一个扫描探针显微镜。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括该悬臂3具有一探头3a，一光源1用于施加一个光束10到该悬臂3所述的背面，所述光电检测器2用于检测反射的光束(光从该光源1发出的光束)11和反射从所述悬臂的所述背面3，和一计算装置9用于检测所述悬臂的所述位移3所述的检测结果的基础上所述反射光束11通过所述的光检测器2和用于输出它，其中所述计算装置9具有的功能计算该差所述的检测信号的所述反射光束11通过两个光接收表面的所述光检测器2和用于输出一个信号的依赖于所述差值。所述扫描探针显微镜还包括一个振动装置8用于振动所述的光检测器2在该方向所述的装置，其光接收表面。版权 : (C)2010，inpit |
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