| 扫描机构和扫描探针显微镜 |
| JP2009034060 2009-2-17 发明申请 |
| 2010-9-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一扫描机构，其具有一非常高的平直度和是合适的用于一高速扫描。溶液 : 该扫描机构10a包括 : 一固定框架11; 一可动部14a以可沿X和Y轴移动; 弹性部分16a-16d设置围绕所述可动部14a; 延伸部分13a，13b延伸从所述弹性部16c，16d沿X和Y轴; 和一支撑15用于支撑所述弹性部分16a-16aD。所述弹性部分16a-16d是在所述相同的形状。该支撑15是由所述固定框架11固定。所述可动部14a，该支撑15，该弹性部分16a-16d和所述延伸部分13a，13b是形成一体。压电元件12a，12b被设置所述固定框架11之间和所述弹性部件16a，16b，从而以可沿所述X和Y轴。所述延伸部分13a，13b具有这样的弹性性质使它们在Y和X方向弹性变形是等效以所述压电元件的那些12a，12b移动时该可动部14a，14b沿所述Y和X轴。版权 : (C)2010，inpit |
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