| 用于扫描探针显微镜悬臂的激励方法，通过所述的方法和扫描探针显微镜 |
| JP2009038151 2009-2-20 发明申请 |
| 2010-9-2 |
| 要解决的问题 : 一悬臂以提供一振动的方法用于一个扫描探针显微镜包括一个激励机构能够振动所述悬臂的高效，能够抑制噪声的一位移检测机构的，抑制了一种振动一部件的噪声，和执行测量具有高分辨率，一个振动系统中关于一种扫描探针显微镜。溶液 : 在该扫描探针显微镜具有一个悬臂支架包括一个保持块14用于保持一个基部该悬臂4上具有一探头3的所述尖端和具有该基部5上的所述的远端，和所述激励机构15用于激励该悬臂4由振动所述保持块14，调整被执行使一频率，当一个所述悬臂支架，包括所述保持块14的结构是振动在一个一个谐振状态中的振动模式与一操作该悬臂4的频率一致时，执行测量通过所述扫描探针显微镜。版权 : (C)2010，inpit |
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