| 显微镜和用于显微镜的图像获取方法 |
| JP2009033082 2009-2-16 发明申请 |
| 2010-9-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一显微镜和一种图像获取方法获取一个Z叠层具有更少的图像模糊，即使当发生振动或等获取所述Z堆图像。溶液 : 一种预定的电气信号是周期性地和累积添加到一个控制信号用于自动聚焦控制，以改变一物镜之间的聚焦位置和一个待检查表面的一样品以一预定间隔在一个光学轴方向，和所述物镜透镜或一阶段中的一种变化是移动以下所述聚焦位置。所述的多个图像的样品是通过使一种成像设备以照片获得的所述样品的每个时间一参考要检查表面的所述样品被放置在各自的聚焦位置。版权 : (C)2010，inpit |
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