| 显微镜 |
| JP2009037158 2009-2-19 发明申请 |
| 2010-9-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一显微镜快速进行准确的聚焦操作。溶液 : 所述显微镜包括一个物镜4; 一个级3在其一个考生2，具有多个观察点设定在预先被放置的; 一个自动聚焦装置5; 驱动控制装置7和8; 和一个处理装置10计算在一个光学轴方向的相对位置的一个第N个观察点; 基于该聚焦信号的多个观察点，其具有已设定的，如果聚焦误差信号被输出从所述的自动聚焦装置5，当所述的物镜4的相对位置和所述级3被驱动和控制所述第N个所述驱动控制装置7和8的观察点，其中所述驱动控制装置7和8被控制，基于所述的相对位置的所述信号在所述的光学轴方向所述第n个观察点的计算由所述处理装置10。版权 : (C)2010，inpit |
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