| 使用扫描探针显微镜检查测试样品的方法、测量系统和测量探针系统 |
| US12600289 2008-5-16 发明申请 |
| 2010-8-26 |
| 本发明涉及使用扫描探针显微镜检查测试样品的方法和装置。 根据该方法，使用扫描探针显微镜对测试样品进行第一和第二测量，其中测量探针和另一测量探针形成在共同的测量探针插座上。 在第一次测量期间，相对于测试样品，测量探针被保持在第一测量位置，而另一个测量探针被保持在另一个非测量位置，并且使用扫描探针显微镜用测量探针检查测试样品。 在第一次测量之后，通过相对于测试样品移位，测量探针从测量位置移位到非测量位置，而另一测量探针从另一非测量位置移位到另一测量位置。 在第二次测量期间，相对于测试样品，测量探针被保持在非测量位置，而另一个测量探针被保持在另一个测量位置，并且使用扫描探针显微镜用另一个测量探针检查测试样品。 本发明还涉及一种扫描探针显微镜的测量传感器系统。 |
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