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4
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扫描探针显微镜和使用其观察样品方法
US12712745 2010-2-25 发明申请
2010-8-26
在扫描探针显微镜中, 将纳米管(1)和金属纳米粒子(2)组合在一起,构成具有纳米数量级的光学分辨率的等离子体增强近场探针(2),作为其中嵌入金属结构(3)的测量探针(3), 并且该等离子体增强近场探针安装在高效等离子体激元激励单元中,以低接触力重复接近和缩回样品上的每个测量点,从而以纳米数量级的分辨率、高信噪比和高再现性测量样品表面的光学信息和轮廓信息,而不损坏探针和样品。
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