| 样品观测方法和扫描电子显微镜 |
| WOJP10000778 2010-2-9 发明申请 |
| 2010-8-26 |
| 本发明提供一种样品的观察方法，其中所述效果在吞吐量是最小化，和一图案轮廓可以获得在高精度，即使在一复杂的LSI图形，而不管所述的扫描方向的电子束。该样品观察方法中，存在或不存在的一个边缘平行于扫描方向(707)的电子束判断是关于一个边缘(708)的一个图案，以被观察到(S702); 如果边缘存在，在所述图案的边缘附近的区域被指定为一个局部预剂量的区域(709)(S703); 一局部预剂量的电子束被执行，使得所述初始充电状态是控制不以返回二次电子由一个电子束的照射时产生一个图像被捕获，以所述表面的一样品。 |
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