目的 : 一种光刻系统用于一种原子力显微镜，和一用于一光刻形成一个输入信号的方法被提供一基板上，以防止所述电充电产生的效果当施加一步骤-直流型电气信号; 和以一种安全的所述高分辨率图像。<\/P>

构成 : 一种光刻系统用于一种原子力显微镜包括以下 : 一信号产生单元(310)一种图像转换成一个预定电压值或电流值，一个功能发生器(320)。产生一个交变电流的形状，以输出中的电气信号，和一个输入信号产生单元(330)产生一个步骤-交流型电气信号包括一个通过乘以所获得的电流值的电压值或电流值从所述信号产生单元和所述电流值从函数发生器，和提供该值与所述原子力显微镜(340)。<\/P>