| 多功能扫描探针显微镜 |
| EP09152876 2009-2-13 发明申请 |
| 2010-8-18 |
| 该显微镜具有一个初步的方法块(3)movablely放置在一底座(1)，一个piezoscanner(4)放置在所述块，和一个对象-载体(5)放置在所述piezoscanner。一个样品(6)包括一个测量区(M)和固定在所述piezoscanner使用所述对象的载体。一板(9)被固定在所述基座抵靠所述样品，和一个分析仪是放置在该板。该分析仪具有测量头(13，16)朝向所述样品到所述样品探针的所述区。导向件(10，11)被固定在该板。所述头是movablely和分别放置在所述引导。 |
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