| 扫描探针显微镜中探针与样品的接近方法 |
| US12700236 2010-2-4 发明申请 |
| 2010-8-12 |
| 在通过位移检测机构(5)检测悬臂(2)的位移并允许探针(1)和样品(8)同时通过粗动机构(13)和垂直方向微动机构(11)中的至少一个彼此接近时， 激励机构(4)用第一激励条件激励悬臂(2)，使探针(1)和样品(8)用第一停止条件接近，然后用与第一激励条件不同的第二激励条件激励悬臂(2)，设置第二停止条件，使探针(1)和样品(8)用垂直方向微动机构(11)和粗动机构(13)中的至少一个接近，直到满足第二停止条件。 |
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