| 控制系统用于一种扫描探针显微镜 |
| WOGB10050181 2010-2-4 发明申请 |
| 2010-8-12 |
| 一控制系统(32，75)是用于使用一种类型的在其与一扫描探针显微镜测量数据。描述了被收集在一个扫描图案内的位置作为探针和样品被移动，相对于每个其它。该控制系统中使用的是结合有一种位置检测系统(34)，其测量所述的位置在至少一个所述探针和样品以便使它们的相对空间位置(X，Y)被确定。然后测量数据可以被相关的构建一个图像中与根据经验确定的空间位置。所述经验的使用位置数据的装置，其图像质量是不通过所述的能力有限的一显微镜扫描系统以控制机械该探针和样品的相对位置。 |
微信公众号