| 扫描电子显微镜 |
| JP2009010171 2009-1-20 发明申请 |
| 2010-8-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜能够防止的一个物镜之间的接触透镜和一个样品。溶液 : 该扫描电子显微镜电子束照射2样品5上从一电子枪1产生的加载在一个样品台7具有一物镜透镜4，以检测从所述样品的电子。多个检测器12a，12b被设置在所述物镜透镜4的附近。一个运算控制装置20计算从所述物镜透镜4的距离，以该样品5上加载该样品台7与所使用的多个图像数据的基于检测到的信号从所述多个的检测器12A，12B的所述多个的检测器12a，12b被这样排列，使得从所述检测器的中心的距离以所述电子束的中心轴是相等的。版权 : (C)2010，inpit |
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